Los arácnidos constituyen un grupo antiguo. Los más remotos arácnidos fósiles encontrados son los escorpiones del Silúrico. Uno de ellos parece ser una especie marina. Se conocen asimismo otros escorpiones del periodo Devónico.
En el periodo pensilvaniense o westfaliense la mayoría de los arácnidos modernos, así como varias especies extinguidas, aparecían ya diferenciados. Los depósitos pensilvanienses contienen arañas fósiles, solpugas, escorpiones de pinza, ricinúlidos y opiliones. Aunque los fósiles ácaros y pseudoescorpiones más antiguos sean los hallados en el Ambar Báltico (oligoceno), ambos se desarrollaron indudablemente en época anterior.